進(jìn)口掃描電鏡成像原理及選購(gòu)要點(diǎn)

發(fā)布日期：2020-07-24      瀏覽次數(shù)：2724

掃描電鏡用電子代替光進(jìn)行成像，電子束打在樣品表面后激發(fā)樣品產(chǎn)生二次電子，收集該二次電子信號(hào)再經(jīng)電腦處理便得到圖像。圖像中亮的區(qū)域電子信號(hào)較多，而暗的區(qū)域電子信號(hào)較少。

 

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種dao物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀(guān)察。

當(dāng)一束極細(xì)的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線(xiàn)和連續(xù)譜X射線(xiàn)、背散射電子、透射電子，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

成像原理：

1、光學(xué)顯微鏡

光學(xué)顯微鏡主要由目鏡、物鏡、載物臺(tái)和反光鏡組成。目鏡和物鏡都是凸透鏡，焦距不同。物鏡的凸透鏡焦距小于目鏡的凸透鏡的焦距。物鏡相當(dāng)于投影儀的鏡頭，物體通過(guò)物鏡成倒立、放大的實(shí)像。目鏡相當(dāng)于普通的放大鏡，該實(shí)像又通過(guò)目鏡成正立、放大的虛像。

經(jīng)顯微鏡到人眼的物體都成倒立放大的虛像。反光鏡用來(lái)反射，照亮被觀(guān)察的物體。反光鏡一般有兩個(gè)反射面：一個(gè)是平面鏡，在光線(xiàn)較強(qiáng)時(shí)使用；一個(gè)是凹面鏡，在光線(xiàn)較弱時(shí)使用，可會(huì)聚光線(xiàn)。

2、電子顯微鏡

電子顯微鏡是根據(jù)電子光學(xué)原理，用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡，使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器。

電子顯微鏡的分辨能力以它所能分辨的相鄰兩點(diǎn)的小間距來(lái)表示。20世紀(jì)70年代，透射式電子顯微鏡的分辨率約為0.3納米(人眼的分辨本領(lǐng)約為0.1毫米)。

現(xiàn)在電子顯微鏡大放大倍率超過(guò)300萬(wàn)倍，而光學(xué)顯微鏡的大放大倍率約為2000倍，所以通過(guò)電子顯微鏡就能直接觀(guān)察到某些重金屬的原子和晶體中排列整齊的原子點(diǎn)陣。

蘇州守真儀器設(shè)備有限公司代理的韓國(guó)EM科特

CUBE-Ⅱ桌面掃描電鏡

 

 

EM科特（EmCrafts）Cube系列桌面式掃描電鏡，是一款桌面緊湊型掃描電子顯微鏡。區(qū)別與傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身，Cube系列占地面積小，便攜性能好，可遵照客戶(hù)服務(wù)指南任意移動(dòng)SEM設(shè)備。

 

EM科特（EmCrafts）Cube系列提供5軸共心樣品臺(tái)（電動(dòng)或手動(dòng)）的臺(tái)式SEM。中心傾斜對(duì)于3D重構(gòu)功能至關(guān)重要。

 

EM科特（EmCrafts）CUBE-Ⅱ產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn)：

l高分辨率,與傳統(tǒng)SEM一樣優(yōu)異

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技術(shù)指標(biāo)：